各位真粉们，小薇又要和您见面啦。

今天我们开启Raman光谱产品应用系列第四辑：

SR900如何测试载流子浓度的呢？

如果记忆力比较好的真粉们，应该还记得我们在3月19号发布的SR900产品介绍中的载流子浓度测量原理与标准咯，欢迎移步3月19号的公众号推文，进行详情了解。

本期，我们直接拿案例说话。

第一个案例，4英寸SiC外延层载流子浓度测量。

图1. 载流子浓度分布与截线图

图2. 不同位置1和2的Raman光谱

结论：

通过声子与载流子耦合形成的特征峰位变化，可以定量计算n型GaN载流子浓度变化

适用GaN、SiC和AlGaN等多种六方晶系n型半导体材料

可测试的载流子浓度范围：1017-1020 cm^-3 ，重复实验的标准偏差<5%

背景介绍：

相关检测方法国家标准

《GB／T_36705-2018_氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法》（2018年9月17日发布，2019年6月1日实施）

第二个案例，我们来看看8英寸SiC拉曼载流子浓度分布，以及其与缺陷的关联。

图3. 8英寸SiC载流子浓度分布

结论：

拉曼载流子浓度异常区域与晶圆片肉眼可见异常区域重合，和穿透刃位错分布相关联。

以上两个案例，简单实惠，很清晰地表现了SR900是如何测试并且准确得到载流子浓度的。

希望这些信息对您有用哦。

小薇又要和您说再见啦，下期见！