Raman光谱产品应用系列第七辑
SR900在InP测试上的应用
各位好,在第六辑里面,我们分享了同属第二代半导体材料的GaAs材料与晶圆的Raman测试应力的情况。在第六辑,我们也介绍了另外一种材料InP,那么在本期,Raman光谱产品应用系列第七辑,我怕们就要介绍SR900共聚焦Raman光谱系统在InP应力测试上的应用。首先,我们来翻看一些文献,看看过往的测试情况,以便作为参考。如图1可以看到:原始半绝缘InP表面仅有LO峰,但是随着Si离子注入逐渐增加,TO峰逐渐增强,LO峰向低波数移动,二阶峰逐渐消失。
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