SR900-PD点缺陷荧光测试系统 - 苏州惟光探真科技有限公司

产品介绍

SR900-PD主要特点：

插槽式光路设计，可扩展213/266/325/375nm等多个波长；
可快速整晶圆扫描，定位缺陷；
内置激光功率校准和测量模块，保证测量结果准确性；
具有自动对焦功能，保证实时聚焦；
可扩展升级TRPL、FLIM、Raman等多种测试功能；
全自动软件控制，模块化数据分析。

产品光路结构：

产品主要特色：革命性的插槽式并联光路设计

强大的光路稳定性：
取消了传统意义上的显微镜周边冗余，更加贴合光路稳定性要求比较高的未来应用场景
无限拓展的可能性：
显微镜光路，荧光，Raman，振镜扫描光电流光路，不同波长的荧光与Raman测试，依次并联，无限拓展
定量测试的高准确度：
激光功率校准集成在显微镜模组中，通过测量激光采样镜获取的少量激光光强，可作为激光功率的实时校准和参考，并通过集成在荧光和拉曼模组中的连续衰减片调节光强。
更多的功能实现：
荧光光强对于激发功率密度非常敏感，要准确的比较不同样品的荧光光强，需要应用翘曲度模组通过自动对焦，固定激发光斑的大小，同时通过激光功率校准来固定激发光强，最终保证了显微共聚焦荧光光强的稳定性和可比较性。

设备技术规格

设备名称

主要技术规格

点缺陷荧光测试系统（型号：SR900-PD）

显微模块

手动物镜转台，可在多个物镜间切换，并保证切换后视野中心位置保持不变，10x/50x近紫外物镜。配500万像素高分辨率成像相机，可获得激光光斑和样品表面的显微图像，显微光路可在荧光收集模式和成像模式之间切换。
翘曲度测量（可选）：分辨率 < 0.1μm@50x物镜，通过z轴运动补偿晶圆的翘曲度，起到自动对焦作用，实现表面自动跟踪，提升荧光效率和分辨率。
激光功率校准（可选）：通过激光功率计对激光功率进行测量和校准。

高精度电动位移台

XY移动范围 200 mm，最小步长< 0.5um，重复定位精度±1um，Z移动范围>9 mm，配合翘曲度模块实现自动对焦，样品盘可放置最大370*400 mm的样品。

宽场荧光成像模组

405nm连续激光器，其他波长266nm/375nm等可选；在10x物镜下快速大面积扫描样品获取缺陷发光图像，然后定位缺陷并计数等。

405 nm激发和荧光信号收集模组

405nm脉冲激光器，平均功率12mW，脉宽100ps。收集光路将荧光聚焦到单色仪入口，并可调整进入单色仪的荧光强度。

光谱仪

波长范围200-1100nm，光谱分辨率优于0.2nm。

荧光PL Mapping与FLIM（可选）

光谱范围200-900nm，荧光寿命测量范围100ps-10us，空间分辨率≤1µm@100X物镜@405nm皮秒脉冲激光器，光子计数器计数率100Mcps,通道数65535。

操作软件

荧光Mapping数据处理，处理荧光的Mapping图像，获得测试样片的峰值波长、主波长、半高宽、峰值强度、积分光强的分布，通过宽场荧光成像，可进行缺陷识别定位，并可进行缺陷数量统计等。

可升级功能：

荧光寿命Mapping测试，拉曼Mapping测试，拉曼Mapping数据处理：获得获得测试样片的峰值波长、主波长、半高宽、峰值强度、积分光强的分布，进一步获得应力的定量分布和数据。晶圆定位：通过载入晶圆版图，可在显微镜下，对标志位进行标记，从而对晶圆进行定位，从而方便地选取扫描位置。

测试数据案例分享

SiC外延片缺陷荧光图像：

MicroLED微区PL荧光光谱Mapping：

智能化软件平台和模块化设计

统一的软件平台和模块化设计
良好的适配不同的硬件设备：平移台、显微成像装置、光谱采集设备、自动聚焦装置等
成熟的功能化模块：晶圆定位、光谱采集、扫描成像Mapping、3D层析，Raman Mapping，FLIM，PL Mapping，光电流Mapping等。
智能化的数据处理模组：与数据拟合、机器学习、人工智能等结合的在线或离线数据处理模组，将光谱解析为成分、元素的分布等，为客户提供直观的结果。可根据客户需求定制光谱数据解析的流程和模组
可根据客户需求进行定制化的界面设计和定制化的RECIPE流程设计，实现复杂的采集和数据处理功能。

显微光谱成像控制软件界面：

强大的光谱图像数据处理软件VisualSpectra

针对光谱Mapping数据的处理，一次性操作，可对整个图像数据中的每一条光谱按照设定进行批处理，获得对应的谱峰、寿命、成分等信息，并以伪彩色或3D图进行显示。

数据处理软件界面：

3D显示：

基础处理功能：去本底、曲线平滑、去杂线、去除接谱台阶、光谱单位转化

进阶功能：光谱归一化、选区获取积分、最大、最小、最大/最小值位置等

谱峰拟合：采用多种峰形（高斯、洛伦兹、高斯洛伦兹等）对光谱进行多峰拟合，获取峰强、峰宽、峰位、背景等信息。

高级功能:

应力拟合：针对Si、GaN、SiC等多种材料，从拉曼光谱中解析材料的应力变化，直接获得应力定量数值，并可根据校正数据进行校正。

载流子浓度拟合

晶化率拟合

荧光寿命拟合
自主开发的一套时间相关单光子计数（TCSPC）荧光寿命的拟合算法，主要特色
1.从上升沿拟合光谱响应函数（IRF），无需实验获取。
2.区别于简单的指数拟合，通过光谱响应函数卷积算法获得每个组分的荧光寿命，光子数比例，计算评价函数和残差，可扣除积分和响应系统时间不确定度的影响，获得更加稳定可靠的寿命数值。
3.最多包含4个时间组分进行拟合。

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宽场荧光显微镜

惟光开发的宽场荧光显微镜是以自动化显微镜模组为基础，针对SiC等化合物半导体样品，分析样品中的晶圆位错、层错等晶格缺陷分布。宽场荧光显微镜可以进行非接触、无损、整晶圆检测，无须化学腐蚀、解理等样品前处理工艺，自主研制的激光辅助离焦量传感器，可在紫外激发光照射样品并采集荧光信号的同时工作，实现自动聚焦和表面跟踪，加上全自动化的软件操作，用户可以轻松快捷的完成测样。