lpm900,系列,光电,综合,光学,测试系统 - 苏州惟光探真科技有限公司

主要性能特点

插槽式光路设计，功能灵活配置；
原位、多维度关联分析；
高空间分辨率与精确共定位
可在光谱信号收集模式和成像模式之间自动切换；
全扫描范围自动聚焦和实时表面跟踪；
自动化软件控制，可一键式多模态数据采集。

光路示意图

设备主要特色：革命性的插槽式并联光路设计

强大的光路稳定性：
取消了传统意义上的显微镜周边冗余，更加贴合光路稳定性要求比较高的未来应用场景
无限拓展的可能性：
显微镜光路，荧光，Raman，振镜扫描光电流光路，不同波长的荧光与Raman测试，依次并联，无限拓展
定量测试的高准确度：
激光功率校准集成在显微镜模组中，通过测量激光采样镜获取的少量激光光强，可作为激光功率的实时校准和参考，并通过集成在荧光和拉曼模组中的连续衰减片调节光强。
更多的功能实现：
荧光光强对于激发功率密度非常敏感，要准确的比较不同样品的荧光光强，需要应用翘曲度模组通过自动对焦，固定激发光斑的大小，同时通过激光功率校准来固定激发光强，最终保证了显微共聚焦荧光光强的稳定性和可比较性。

设备技术规格

设备名称

主要技术规格

多模态综合光电测试系统（型号：LPM900）

显微成像模组

手动物镜转台，可在多个物镜间切换，并保证切换后视野中心位置保持不变；5x/10x/20x/50x/ 100x物镜可选；
显微成像光路：可获得激光光斑和样品表面的显微图像；可在荧光收集模式和成像模式（对样品表面进行聚焦和寻区）之间切换。成像相机分辨率2592x1944，5倍下视野范围1.8x1.4mm；
激光功率校准和测量：集成激光功率计对激光功率进行测量和校准，保证每次测量时的激光激发功率不变化。

翘曲度测量模块

在50x物镜下，分辨率 < 0.1微米。通过z轴运动补偿晶圆的翘曲度，起到激光自动对焦作用，实现表面自动跟踪，提升荧光效率和分辨率。

自动聚焦模块

自主研制的激光辅助离焦量传感器；可在无图案晶圆上实现精确自动聚焦和表面跟踪；辅以图形边缘识别，实现双模式自动调焦；自主研制的小型化科勒照明系统；照明视场均匀、无暗角，成像视场中心和边角均有高对比度和解析度；全软件控制，自动调焦、寻区、切换物镜；在全扫描范围自动聚焦和实时表面跟踪；对焦精度 < 0.2μm。

Raman及Raman Mapping模组

532nm/638nm/785nm等多波长可选，光谱范围80-9000cm-1 @532nm激光器，空间分辨率≤1µm@100X物镜，NA0.9，扫描范围大于300×300 mm²，最小分辨率1μm，高灵敏度探测器，背感光芯片，量子效率在700nm-870nm区间处>90% 荧光PL Mapping与FLIM模组激光器波长 193nm/195nm/213nm/266nm/375nm/405nm等多波长稳态与瞬态激光器可选: 光谱范围200-900nm 荧光寿命测量范围100ps-10us:最小时间分率2ps或16ps可选:空间分辨率≤14m@100X物镜 @405nm皮秒脉冲激光器

光电流Mapping模组（可选）

标配532mm激光器，可选配2路激光器用于光电流测试;振镜光路设计，可以兼容低温台;扫描范围大于300x300 m?，最小分辨率1m，直径65mm真空吸附卡盘;电流测量范围1nA`1A，分辨率20fA，也可根据用户需求选择;探针座和样品整体维移动，样品位置移动行程25mmm，分辨率54m，探针座:XYZ行程12m，分辨率0.7mm:探针:钨针，直径54，104m，24m可选;光电流扫描(Mapping):可以设定固定的电压，逐点获取电流值;I-V曲线扫描(Mapping):可以设定指定的电压区间，逐点获取I-V曲线

瞬态光电流/光电压测试模组（可选）

测试可以增加脉冲激光器例如ns脉冲YAG激光器，进行瞬态光电流/光电压测试

控制软件

可对光谱峰位、峰高和半高宽等进行拟合；可自动拟合并计算应力、晶化率、载流子浓度等信息，样品数据库可定制；主成分分析（PCA）和k-均值聚类处理模块；将拟合结果以二维图像方式显示。

智能化软件平台和模块化设计

统一的软件平台和模块化设计
良好的适配不同的硬件设备：平移台、显微成像装置、光谱采集设备、自动聚焦装置等
成熟的功能化模块：晶圆定位、光谱采集、扫描成像Mapping、3D层析，LIBS，Raman Mapping，FLIM，PL Mapping，光电流Mapping等。
智能化的数据处理模组：与数据拟合、机器学习、人工智能等结合的在线或离线数据处理模组，将光谱解析为成分、元素的分布等，为客户提供直观的结果。可根据客户需求定制光谱数据解析的流程和模组
可根据客户需求进行定制化的界面设计和定制化的RECIPE流程设计，实现复杂的采集和数据处理功能。

显微光谱成像控制软件界面：

强大的光谱图像数据处理软件VisualSpectra

针对光谱Mapping数据的处理，一次性操作，可对整个图像数据中的每一条光谱按照设定进行批处理，获得对应的谱峰、寿命、成分等信息，并以伪彩色或3D图进行显示。数据处理软件界面：

3D显示：

主要应用领域

基础处理功能：去本底、曲线平滑、去杂线、去除接谱台阶、光谱单位转化
进阶功能：光谱归一化、选区获取积分、最大、最小、最大/最小值位置等
谱峰拟合：采用多种峰形（高斯、洛伦兹、高斯洛伦兹等）对光谱进行多峰拟合，获取峰强、峰宽、峰位、背景等信息。
高级功能：荧光寿命拟合，自主开发的一套时间相关单光子计数（TCSPC）荧光寿命的拟合算法，主要特色：1、从上升沿拟合光谱响应函数（IRF），无需实验获取。2、区别于简单的指数拟合，通过光谱响应函数卷积算法获得每个组分的荧光寿命，光子数比例，计算评价函数和残差，可扣除积分和响应系统时间不确定度的影响，获得更加稳定可靠的寿命数值。3、最多包含4个时间组分进行拟合。

主成分分析和聚类分析