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苏州惟光探真科技有限公司
元素分析
LIBS-E900实验室版LIBS元素分析仪

LIBS-E900实验室版LIBS(激光诱导击穿光谱)元素分析仪采用完整、安全的外罩设计,便于运输和现场开箱即用,相比于市面上已有的其他品牌的LIBS系统,其强大的优势在基于激光和视觉算法的自动对焦系统,对样品表面实时跟踪,实现LIBS的自动跟焦和Mapping。设备软件操作简单,一键即可实现全自动化测试,强大的视觉功能,可实现Mapping图,并自动完成谱图生成,并对样品元素成分分布进行伪色彩区分显示。此外可接入不同数据库,从而达到数据的高强度兼容。

LIBS-E900实验室版LIBS元素分析仪专为教学和基础科研设计,它通过让学习者亲手操作和观察,来理解元素分析的基本原理和技术。

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主要性能特点
  • 具有自动对焦和元素Mapping分析功能;
  • 微损甚至近乎无损;
  • 几乎无需样品制备;
  • 可针对多相态样品检测;
  • 全元素分析范围;
  • 自动化软件控制。


光路示意图
设备技术规格

设备名称

主要技术规格

实验室版LIBS元素分析仪(型号:LIBS-E900)

显微成像

白光LED照明,100 mm等效焦距镜头,工作距离85~120 mm;相机像素分辨率5440×3648,USB3.0接口;视野范围23.5x15.8 mm(工作距离120mm下),分辨率< 10μm,等效放大倍数大于50x

LIBS激光器

纳秒脉冲激光器,波长1064nm,单脉冲能量>100mJ @1064nm,脉冲宽度<6ns

LIBS激发和收集光路

配备光路调节机构,将激发激光聚焦样品,焦距100mm侧收集光路,75mm焦距,可调节进光量

LIBS光谱信号采集

波长范围200-900nm,光谱分辨率 < 0.5nm

样品台及自动对焦

XY方向50 mm行程,重复定位精度≤±1.5μm,Z方向20mm行程,重复定位精度≤±2μm。 自动对焦精度<200μm(典型值,跟样品有关),搜索范围100mm。

时序控制

7路可调延时输出通道,最小延时分辨率为0.25ns,最大延时为10s。若7路TTL信号的频率相同或者为整数倍,同步精度 < 100ps。

控制和分析软件

样品图像显示、光谱自动采集、特征谱线识别、元素分布特征显示,具有自动对焦功能和Mapping功能(可选)



测试数据案例分享
宝石中的Be元素检测
案例:四氟化碳在SiO2的基片上刻蚀花纹,检测残留,从样品中检测到C(247.86nm)的谱线
图 C(247.86nm)的谱线拟合
图 Mapping图中C(247.86nm)的分布
智能化软件平台和模块化设计
  • 统一的软件平台和模块化设计
  • 良好的适配不同的硬件设备:平移台、显微成像装置、光谱采集设备、自动聚焦装置等
  • 成熟的功能化模块:晶圆定位、光谱采集、扫描成像Mapping、3D层析,LIBS,Raman Mapping,FLIM,PL Mapping,光电流Mapping等。
  • 智能化的数据处理模组:与数据拟合、机器学习、人工智能等结合的在线或离线数据处理模组,将光谱解析为成分、元素的分布等,为客户提供直观的结果。可根据客户需求定制光谱数据解析的流程和模组
  • 可根据客户需求进行定制化的界面设计和定制化的RECIPE流程设计,实现复杂的采集和数据处理功能。


光谱成像控制软件界面:
强大的光谱图像数据处理软件VisualSpectra

数据处理软件界面:

3D显示:

应用场景
  • 分析化学与仪器分析课程:
    用于演示原子发射光谱(AES)的基本原理,讲 解光谱图的识别、定性分析与半定量分析方法。
  • 环境科学教育:
    快速检测土壤中的重金属污染(如Pb、Cr、Cd等),分析水体中的金属离子含量。
  • 材料科学与工程导论:
    进行合金牌号的快速鉴别(如区分304和316不锈钢)、分析材料的成分。
  • 地质与考古学实践:
    对岩石、矿物、陶瓷、古董等进行元素成分分析,辅助进行鉴别或年代推断。
  • 物理实验:
    研究等离子体的物理特性、激光与物质的相互作用等物理过程。
  • 创新性与研究性学习:
    鼓励学生自主设计实验课题,如比较不同茶叶中的矿物质含量、分析不同品牌墨水的成分差异等,培养学生科研创新能力。




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