设备名称

配置与性能

3D激光直写系统（型号：LDW900）

白光LED照明；可明场和暗场成像，并自动切换；500万像素高分辨率成像相机；

翘曲度模块（激光自动对焦），100x下自动对焦精度0.06um；

标配图像自动对焦（结合激光自动对焦，寻找最佳图像）；

6孔可调中心手动切换转塔，物镜5X/20x/50x/100x不同倍率可选；

波长范围380 – 900 nm，NA 1.3；

高精度Z轴对焦器，分辨率<0.1um，重复定位精度 < 0.5um；

XY方向重复定位精度≤±2um；最大速度50mm/s；R轴旋转轴，重复定位精度≤±3 角秒；

高负载高速XY平面运动，XY扫描运动范围100微米，闭环分辨率优于1nm，最大负载5kg

激光器中心波长：1030nm

输出功率：>=20W@ 50-200KHZ, >400uJ@1-50KHz

脉宽：< 290fs

对表面进行激光自动对焦，保持激光聚焦光斑一致性，克服表面翘曲的影响； 按照一定路径控制XY平移台进行运动，实现加工图案。集成光栅刻写程序，包括逐点法和逐线法程序，实现普通均匀光栅/倾斜光栅/相移光栅/切趾光栅的刻写； 根据STL文件，实现3D运动，实现3D打印的图案。