SSQ900二维材料点缺陷固态量子比特测试系统 - 苏州惟光探真科技有限公司

主要性能特点：

插槽式模块化光路设计，可扩展集成多个激发波长；
集成宽场扫描，可快速定位色心位置；
可在光谱信号收集模式和成像模式之间自由切换；
自动化软件控制；

光路示意图

设备主要特色：革命性的插槽式并联光路设计

强大的光路稳定性：
取消了传统意义上的显微镜周边冗余，更加贴合光路稳定性要求比较高的未来应用场景
无限拓展的可能性：
显微镜光路，荧光，Raman，振镜扫描光电流光路，不同波长的荧光与Raman测试，依次并联，无限拓展
定量测试的高准确度：
激光功率校准集成在显微镜模组中，通过测量激光采样镜获取的少量激光光强，可作为激光功率的实时校准和参考，并通过集成在荧光和拉曼模组中的连续衰减片调节光强。
更多的功能实现：
荧光光强对于激发功率密度非常敏感，要准确的比较不同样品的荧光光强，需要应用翘曲度模组通过自动对焦，固定激发光斑的大小，同时通过激光功率校准来固定激发光强，最终保证了显微共聚焦荧光光强的稳定性和可比较性。

设备技术规格

设备名称

主要技术规格描述

二维材料点缺陷固态量子比特测试系统（型号：SSQ900）

显微成像模组

手动物镜转台，可在多个物镜间切换，配备5x/10x/50x/100x等多个复消色差物镜，对样品表面显微成像：配备不低于500万像素高分辨率成像相机，可获得激光光斑和样品表面的显微图像，显微光路可在荧光收集模式和成像模式之间切换；
配备激光离焦量传感器，配合样品位移系统可实现激光自动聚焦和样品表面跟踪。

精密位移台

XY方向，最小分辨率＜1μm，重复定位精读±3μm；
高精度Z调焦器，最小分辨率＜0.1μm，重复定位精读＜0.5μm。

光谱仪

光谱范围200-1100nm，光谱分辨率优于2cm-1

荧光成像模组

配备匀化照明的532nm暗场激发光源，可实现对样品表面的暗场荧光成像功能，用于快速寻找色心点缺陷的位置。

532nm激发和拉曼荧光信号收集模组

532nm连续激光器，TEM00模，激光出口功率＞100mW；
拉曼光谱收集范围90~4000cm-1，谱分辨率2cm-1；
荧光光谱收集范围550~1000nm，光谱空间分辨率优于2μm；
配合自动聚焦模块，可实现微区拉曼和荧光光谱面扫描分析，面扫描步长精度最高可达1μm。

光谱仪

采用光栅单色仪与制冷型光谱相机，配合上述532 nm激光模组，可采集Raman光谱或者PL光谱，光谱分辨率2cm^-1

二阶相关系数测量模块

配置2个单光子探测器，可制冷至-20℃，光敏面尺寸500μm，暗计数200~ 500cps。时间相关单光子计数器，时间通道数最大65535，最小时间分辨率16ps，最大瞬时饱和计数100Mcps。

低温样品台（可选）

温度范围77-300k，液氮制冷。

软件

可自动按一定间隔对全晶圆进行自动聚焦和光谱采集。可对光谱峰位、峰高和半高宽等进行拟合。可自动拟合并计算组分、应力、晶化率、载流子浓度等信息，样品数据库可定制。将拟合结果以二维图像方式显示。
集成控制激光器、时间分辨单光子计数器以及单光子探测器等组件，实现时间二阶相关系数测试功能，以及相应的数据处理功能，用于判断样品发光的单光子特性。

智能化软件平台和模块化设计

统一的软件平台和模块化设计；
良好的适配不同的硬件设备：平移台、显微成像装置、光谱采集设备、自动聚焦装置等；
成熟的功能化模块：晶圆定位、光谱采集、扫描成像Mapping、3D层析，Raman Mapping，FLIM，PL Mapping，光电流Mapping等；
智能化的数据处理模组：与数据拟合、机器学习、人工智能等结合的在线或离线数据处理模组，将光谱解析为成分、元素的分布等，为客户提供直观的结果。可根据客户需求定制光谱数据解析的流程和模组；
可根据客户需求进行定制化的界面设计和定制化的RECIPE流程设计，实现复杂的采集和数据处理功能。

控制软件界面：

主要性能特点：

插槽式模块化光路设计，可扩展集成多个激发波长；
集成宽场扫描，可快速定位色心位置；
可在光谱信号收集模式和成像模式之间自由切换；
自动化软件控制；

光路示意图

设备主要特色：革命性的插槽式并联光路设计

强大的光路稳定性：
取消了传统意义上的显微镜周边冗余，更加贴合光路稳定性要求比较高的未来应用场景
无限拓展的可能性：
显微镜光路，荧光，Raman，振镜扫描光电流光路，不同波长的荧光与Raman测试，依次并联，无限拓展
定量测试的高准确度：
激光功率校准集成在显微镜模组中，通过测量激光采样镜获取的少量激光光强，可作为激光功率的实时校准和参考，并通过集成在荧光和拉曼模组中的连续衰减片调节光强。
更多的功能实现：
荧光光强对于激发功率密度非常敏感，要准确的比较不同样品的荧光光强，需要应用翘曲度模组通过自动对焦，固定激发光斑的大小，同时通过激光功率校准来固定激发光强，最终保证了显微共聚焦荧光光强的稳定性和可比较性。

设备技术规格

设备名称

主要技术规格描述

二维材料点缺陷固态量子比特测试系统（型号：SSQ900）

显微成像模组

精密位移台

XY方向，最小分辨率＜1μm，重复定位精读±3μm；
高精度Z调焦器，最小分辨率＜0.1μm，重复定位精读＜0.5μm。

荧光成像模组

配备匀化照明的532nm暗场激发光源，可实现对样品表面的暗场荧光成像功能，用于快速寻找色心点缺陷的位置。

532nm激发和拉曼荧光信号收集模组

光谱仪

采用光栅单色仪与制冷型光谱相机，配合上述532 nm激光模组，可采集Raman光谱或者PL光谱，光谱分辨率2cm^-1

二阶相关系数测量模块

低温样品台（可选）

温度范围77-300k，液氮制冷。

软件

智能化软件平台和模块化设计

统一的软件平台和模块化设计；
良好的适配不同的硬件设备：平移台、显微成像装置、光谱采集设备、自动聚焦装置等；
成熟的功能化模块：晶圆定位、光谱采集、扫描成像Mapping、3D层析，Raman Mapping，FLIM，PL Mapping，光电流Mapping等；
智能化的数据处理模组：与数据拟合、机器学习、人工智能等结合的在线或离线数据处理模组，将光谱解析为成分、元素的分布等，为客户提供直观的结果。可根据客户需求定制光谱数据解析的流程和模组；
可根据客户需求进行定制化的界面设计和定制化的RECIPE流程设计，实现复杂的采集和数据处理功能。

控制软件界面：

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