双模式同步检测|半导体晶圆 Mapping 光谱设备光源展示
本视频专项展示双光源高速飞拍PL+拉曼一体化Mapping光谱表征系统核心硬件与性能优势。设备搭载532nm+785nm双波长集成光源,实现PL光致发光+拉曼光谱一体化同步检测,可完成半导体晶圆、MicroLED的发光均匀性、缺陷、应力、晶格结构全方位表征。同时搭载自研高速飞拍采集算法,突破传统扫描模式速率限制,具备高速全域飞拍Mapping能力,快速完成大批量点位扫描成像,兼顾检测精度与测试效率,完美适配半导体晶圆量产质检与新材料研发需求。
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