半导体材料与晶圆 - 苏州惟光探真科技有限公司

Raman光谱产品应用系列第九辑
SR900长期稳定性测试数据分享

各位朋友们，大家好。在前面的八辑与公众号其他内容中，我们分享了SR900全功能型共聚焦Raman光谱系统在很多不同材料应力测试上的应用。例如，第三代半导体材料与晶圆SiC，GaN以及AlN（我司与纳米所用户合作发表的文章，可以翻阅此前的公众号内容）第二代半导体材料与晶圆GaAs和InP上Si基芯片应力测试还包括碳纤维复合材料CFRP，但是限于保密关系无法分享。

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宽场荧光显微镜应用第一辑点缺陷测量的技巧
兼论宽场荧光显微镜在点缺陷测量中的重要作用

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Raman光谱产品应用系列第七辑
SR900在InP测试上的应用

各位好，在第六辑里面，我们分享了同属第二代半导体材料的GaAs材料与晶圆的Raman测试应力的情况。在第六辑，我们也介绍了另外一种材料InP，那么在本期，Raman光谱产品应用系列第七辑，我怕们就要介绍SR900共聚焦Raman光谱系统在InP应力测试上的应用。首先，我们来翻看一些文献，看看过往的测试情况，以便作为参考。如图1可以看到：原始半绝缘InP表面仅有LO峰，但是随着Si离子注入逐渐增加，TO峰逐渐增强，LO峰向低波数移动，二阶峰逐渐消失。

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Raman光谱产品应用系列第六辑
SR900在GaAs材料与晶圆测试上的应用

各位朋友们，大家好。本期与大家分享的是我司Raman光谱产品应用系列的第六辑：SR900显微共聚焦Raman光谱系统在GaAs材料与晶圆上的应用。

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起底自动对焦显微镜的技术路线异同和优劣势与适用场景

为什么惟光探真的Raman与PLMapping系统可以很精准地在生物，半导体和材料领域做3DMapping与精准的2DMapping，以至于哪怕是崎岖不平的样品也毫不畏惧？

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Raman光谱产品应用系列第四辑
SR900如何测试载流子浓度的呢?

各位真粉们，小薇又要和您见面啦。今天我们开启Raman光谱产品应用系列第四辑：SR900如何测试载流子浓度的呢？

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Raman光谱系列产品应用系列第二辑
SF900残余应力与载流子浓度测试应用与相关方法比对

各位真粉们，小薇又来了。本期正式开启Raman光谱应用第二辑，在SiC与GaN残余应力测试上的应用，并且与相关方法进行比对。先上结论：Raman光谱做载流子浓度与残余应力是一种值得信赖的好方法！再看测试数据。我们先来看一下样品未吸片自然翘曲状态下的应力测量情况。

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Raman光谱系列产品应用系列第一辑
SR900在SiC残余应力测试上的应用

各位真粉们，小薇又来了。本期正式开启Raman光谱应用第一辑，在SiC残余应力测试上的应用。如前所述，我们的SR900半导体晶圆应力与载流子浓度测试系统，拥有自动聚焦，软件分析，3D层析等多种核心技术护城河，那么，今天小薇就带您来看看SR900是如何应用在SiC的残余应力测试上的吧。

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荧光光谱系列产品应用系列第三辑
揭示SF900半导体晶圆少子寿命与缺陷测量系统的奥秘

连续二期的应用案例相信如惊鸿一瞥，希望给您留下了一点点的印象吧。上回书小薇和您说到，这些看起来不经意的测试结果，看起来简单，但是做起来很难，不论是自动对焦显微镜的算法，还是测试过程中遇到的各种困难与想不到的KnowHow，都是测试几十轮次之后的不断迭代才可以得到的。国内外用PLMapping方法测试缺陷与少子寿命的不少，但是其中的奥妙却不是谁都可以窥探的，就比如所采用的光斑大小所引起的干涉图案，以及刻蚀工艺到导致的峰位移动，都是需要不断深入讨论和优化的。

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