LIBRAS-F900远程LIBS-Raman联用光谱分析系统 - 苏州惟光探真科技有限公司

主要性能特点

原位与共定位实时分析，无需切换样品、重新定位；
“先无损，后微损”的智能分析；
一体化平台，共用显微成像、样品台和控制系统；
几乎无需样品制备，快速实时分析；
自动化点、线、面扫描与深度剖面分析；
通过软件将拉曼和LIBS数据进行关联和融合。

光路示意图

设备技术规格

设备名称

主要技术规格

远程LIBS-Raman联用光谱分析系统（型号：LIBRAS-F900）

显微成像
白光LED照明，100 mm等效焦距镜头，工作距离85 ~ 120 mm；
相机像素分辨率5440×3648，USB3.0接口；视野范围23.5x15.8 mm（工作距离120mm下），分辨率< 10μm，等效放大倍数大于50x；
固定控制远程拉曼镜头和自动对焦模块；
自动对焦精度＜200μm（典型值，跟样品有关），搜索范围100mm。
LIBS激光器
纳秒脉冲激光器，波长1064nm，单脉冲能量＞100mJ @1064nm，脉冲宽度＜6ns；其它波长（如532nm等）可选
LIBS光谱信号采集
波长范围200-900nm，光谱分辨率 < 0.3nm
XY方向50 mm行程，重复定位精度≤±1.5μm，Z方向20mm行程，重复定位精度≤±2μm。
时序控制
7路可调延时输出通道，最小延时分辨率为0.25ns，最大延时为10s。若7路TTL信号的频率相同或者为整数倍，同步精度 < 100ps。
拉曼激光器：连续激光器，波长532nm，出口功率 > 100 mW
拉曼光谱信号采集
320mm焦距单色仪，可同时安装三块光栅
光谱CCD相机采用背感光芯片，制冷温度-60℃
拉曼光谱范围200-4000cm-1，分辨率 < 2.0 cm-1
控制和分析软件
样品图像显示、光谱自动采集、光谱预处理（去噪、背景扣除），特征谱线识别、元素分布特征显示。
可选功能：
自动对焦功能和Mapping功能；
机器学习和多元校正算法用以提升复杂样品分析准确度、甚至进行自动分类和预测。

智能化软件平台和模块化设计

统一的软件平台和模块化设计
良好的适配不同的硬件设备：平移台、显微成像装置、光谱采集设备、自动聚焦装置等
成熟的功能化模块：晶圆定位、光谱采集、扫描成像Mapping、3D层析，LIBS，Raman Mapping，FLIM，PL Mapping，光电流Mapping等。
智能化的数据处理模组：与数据拟合、机器学习、人工智能等结合的在线或离线数据处理模组，将光谱解析为成分、元素的分布等，为客户提供直观的结果。可根据客户需求定制光谱数据解析的流程和模组
可根据客户需求进行定制化的界面设计和定制化的RECIPE流程设计，实现复杂的采集和数据处理功能。

光谱成像控制软件界面：

强大的光谱图像数据处理软件VisualSpectra

数据处理软件界面：

3D显示：

应用领域

一、核工业与辐射安全领域
示例：实时监测核反应堆或核废料储罐内燃料元件、管道是否存在放射性元素（如 Cs、Sr、Pu、U）泄漏，同时确认泄漏物的分子形态（避免误判为非放射性杂质）。
二、文物保护与考古领域
示例1：壁画与彩绘文物分析，确定壁画颜料的成分（为修复提供依据）、判断是否有后期修补（区分原颜料与修复颜料）、分析颜料降解原因。
示例2：金属与陶瓷文物分析，分析青铜器、铁器的合金成分（判断冶炼工艺）、识别陶瓷釉料的配方（区分窑口）、检测文物表面的腐蚀产物（指导保护方案）。
三、工业制造与设备维护领域
示例1：高端制造质控（航空航天、半导体），检测航空发动机叶片、半导体晶圆等关键部件的成分纯度（避免杂质影响性能）、晶体结构完整性（避免缺陷导致失效）。
示例2：化工与能源设备维护（管道、储罐、锅炉），监测化工管道、油气储罐、电站锅炉的内壁腐蚀情况（避免泄漏）、确认腐蚀产物或结垢成分（指导清理方案）。
四、特殊工业与科研应用
示例：深海与极端环境探测：可搭载于远程操作机器人（ROV）上，对深海热液喷口、极地冰层等极端环境下的物质进行原位分析。

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