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苏州惟光探真科技有限公司
元素分析
LIBRAS-M900显微LIBS-Raman联用光谱分析系统

LIBS与Raman是两种互补性极强的光谱技术:LIBS擅长元素组成与含量分析,可快速检测元素组成(从轻元素H、Li到重元素U、Pu),尤其擅长金属、非金属元素的定性/定量分析,Raman 专注于分子结构与化学态表征,可精准分析分子结构、化学键、物相、晶体结构等。LIBS和Raman联用光谱能在同一微区位置同时获取物质的元素组成和分子结构信息,可实现“从原子到分子”的多维度表征,解决单一技术无法覆盖的复杂分析需求,从而提供更为全面的样品化学成分与结构特征分析。

产品咨询
(一)主要性能特点:
  • 原位与共定位实时分析,无需切换样品、重新定位;
  • “先无损,后微损”的智能分析;
  • 一体化平台,共用显微成像、样品台和控制系统;
  • 几乎无需样品制备,快速实时分析;
  • 自动化点、线、面扫描与深度剖面分析;
  • 通过软件将拉曼和LIBS数据进行关联和融合。


(二)光学部分设计概述
(三)设备主要特色:革命性的插槽式并联光路设计
  • 强大的光路稳定性:
    取消了传统意义上的显微镜周边冗余,更加贴合光路稳定性要求比较高的未来应用场景
  • 无限拓展的可能性:
    显微镜光路,荧光,Raman,振镜扫描光电流光路,不同波长的荧光与Raman测试,依次并联,无限拓展
  • 定量测试的高准确度:
    激光功率校准集成在显微镜模组中,通过测量激光采样镜获取的少量激光光强,可作为激光功率的实时校准和参考,并通过集成在荧光和拉曼模组中的连续衰减片调节光强。
  • 更多的功能实现:
    荧光光强对于激发功率密度非常敏感,要准确的比较不同样品的荧光光强,需要应用翘曲度模组通过自动对焦,固定激发光斑的大小,同时通过激光功率校准来固定激发光强,最终保证了显微共聚焦荧光光强的稳定性和可比较性。


(四)设备技术规格

设备名称

主要技术规格

显微LIBS-Raman联用光谱分析系统(型号:LIBRAS-M900)

显微成像

白光LED照明,拉曼/成像模式自动切换;500万像素成像相机,典型空间分辨率1μm;耦合1064nm激发光路,配备10X近红外APO物镜,激光光斑尺寸(焦点处)< 50μm,532nm拉曼光路配100x物镜; 激光自动对焦,10x下自动对焦精度 < 1μm;100x下自动对焦精度0.06um;与显微镜模组的图像对焦功能结合,可实现自动化的混合对焦,辅助自动化数据采集和分析

LIBS激光器

纳秒脉冲激光器,波长1064nm,单脉冲能量>100mJ @1064nm,脉冲宽度<6ns;其它波长(如532nm等)可选

LIBS光谱信号采集

波长范围200-900nm,光谱分辨率< 0.3nm

样品台

XY方向50 mm行程,重复定位精度≤±1.5μm,Z方向20mm行程,重复定位精度≤±2μm。

时序控制

7路可调延时输出通道,最小延时分辨率为0.25ns,最大延时为10s。若7路TTL信号的频率相同或者为整数倍,同步精度< 100ps。

时序控制

拉曼激光器:连续激光器,波长532nm,出口功率 > 50 mW

拉曼光谱信号采集

高分辨率单色仪,配高灵敏度科学级光谱探测器; 拉曼光谱范围200-4000cm-1,分辨率< 2.0 cm-1

控制和分析软件

样品图像显示、光谱自动采集、光谱预处理(去噪、背景扣除),特征谱线识别、元素分布特征显示。
可选功能:
自动对焦功能和Mapping功能;

机器学习和多元校正算法 用以提升复杂样品分析准确度、甚至进行自动分类和预测。



智能化软件平台和模块化设计
  • 统一的软件平台和模块化设计
  • 良好的适配不同的硬件设备:平移台、显微成像装置、光谱采集设备、自动聚焦装置等
  • 成熟的功能化模块:晶圆定位、光谱采集、扫描成像Mapping、3D层析,LIBS,Raman Mapping,FLIM,PL Mapping,光电流Mapping等。
  • 智能化的数据处理模组:与数据拟合、机器学习、人工智能等结合的在线或离线数据处理模组,将光谱解析为成分、元素的分布等,为客户提供直观的结果。可根据客户需求定制光谱数据解析的流程和模组
  • 可根据客户需求进行定制化的界面设计和定制化的RECIPE流程设计,实现复杂的采集和数据处理功能。


光谱成像控制软件界面:
强大的光谱图像数据处理软件VisualSpectra

数据处理软件界面:

3D显示:

主要应用领域
一、材料科学与工程领域
1.金属与合金材料的微区缺陷 / 析出相分析
示例:合金(如铝合金、钛合金、高温合金)的性能常依赖于微小析出相(尺寸 1-10μm)的调控,但析出相的 “元素组成”(如 Al-Cu 合金中的 Cu 富集相)和 “晶体结构”(如 θ 相 Al₂Cu、GP 区)直接影响合金强度,需同步分析。 联用分析:LIBS快速测定析出相的元素组成(如 Cu、Mg、Zn 等)及含量,区分基体与析出相的元素差异;Raman识别析出相的晶体结构(如 θ 相的特征拉曼峰≈420 cm⁻¹,GP 区无明显峰),判断析出相类型与相变程度;

2.复合材料的界面与均匀性分析
示例:复合材料(如碳纤维增强树脂基复合材料、陶瓷基复合材料)的 “界面结合强度” 是关键性能指标,需分析界面处的元素扩散与分子结构变化。 联用分析:LIBS mapping 扫描界面区域(如碳纤维 - 树脂界面)的元素分布(如树脂中的 C、O,纤维中的 C,偶联剂中的 Si),判断元素扩散范围;Raman分析界面处树脂的分子结构(如环氧树脂的交联度变化、碳纤维的石墨化程度),评估界面结合状态。

3.薄膜与涂层材料的多层结构表征
示例:半导体薄膜、防腐涂层等需精准控制 “厚度 - 成分 - 结构” 的均匀性,单一技术难以同步表征多层微区(如 1-100μm 涂层)。 联用分析:LIBS:深度剖面分析(通过逐层击穿),测定各层的元素组成(如 TiN 涂层的 Ti、N,基体的 Fe);Raman:表征各层的物相 / 晶型(如 TiN 的特征峰≈560 cm⁻¹,判断晶体完整性)。

二、地质与矿物学领域
1. 流体包裹体的成分与温压条件分析
示例:矿物中的流体包裹体(尺寸 2-50μm)记录了矿物形成时的温压环境,需同时测定包裹体的 “元素组成”(如盐度)与 “分子成分”(如气体 / 液体类型)。 联用分析:LIBS:测定包裹体中的阳离子(Na⁺、K⁺、Ca²⁺)与阴离子(Cl⁻、SO₄²⁻),计算盐度;Raman:识别包裹体中的分子(如 H₂O、CO₂、CH₄、CH₃OH),结合拉曼峰位偏移计算形成温度。

2. 矿物相变与杂质元素关联分析 示例:矿物(如石英、长石)在不同温压下会发生相变(如石英→柯石英→斯石英),杂质元素(如 Al、Fe)会影响相变临界条件,需同步分析。 联用分析:Raman:精准识别矿物相(如 α- 石英峰≈464 cm⁻¹,β- 石英峰≈468 cm⁻¹),判断相变是否发生;LIBS:测定杂质元素含量(如 Al 的浓度),建立 “杂质含量 - 相变温度” 的关联。 3. 矿石微区找矿与分选
示例:低品位矿石中目标矿物(如辉钼矿、黄铜矿)的颗粒微小(1-10μm),需快速识别微区矿物并测定元素,提高分选效率。 联用分析:Raman:快速鉴定目标矿物(如辉钼矿特征峰≈383 cm⁻¹、403 cm⁻¹);LIBS:测定矿物的元素纯度(如辉钼矿中的 Mo 含量,排除含硫杂质)。

三、环境科学领域
1. 微塑料的成分识别与污染物吸附分析
示例:环境中微塑料(尺寸 0.1-500μm)的种类(如 PE、PP、PET)与吸附的重金属 / 有机污染物直接影响生态风险,需同步表征。 联用分析:Raman:通过特征峰识别微塑料种类(如 PE 峰≈1415 cm⁻¹、PP 峰≈809 cm⁻¹);LIBS:测定微塑料表面吸附的重金属(如 Pb、Cd、Cr)及含量,评估污染负载。

2. 大气颗粒物(PM2.5)的来源解析
示例:PM2.5 的单颗粒(尺寸 < 2.5μm)成分复杂,需同时知道 “元素组成”(如燃煤含 S、机动车含 Pb)与 “物相结构”(如硫酸盐、硝酸盐、碳颗粒类型),以追溯来源。 联用分析:LIBS:测定单颗粒中的元素(S、N、Pb、Cu、Fe),区分燃煤(高 S)、机动车(高 Pb/Cu)、扬尘(高 Si/Al)源;Raman:识别物相(如硫酸铵峰≈981 cm⁻¹、炭黑 D 峰≈1350 cm⁻¹/G 峰≈1580 cm⁻¹),判断二次转化产物(如 SO₂→硫酸铵)。

3. 土壤微区重金属与有机质的相互作用
示例:土壤中重金属(如 As、Hg、Cd)常富集于 “微区热点”(如有机质团聚体、黏土颗粒),有机质的分子结构(如羧基、羟基)会影响重金属的吸附 / 解吸,需同步分析。 联用分析:LIBS:mapping 扫描土壤微区,定位重金属富集点(如 As 的特征峰≈197.2 nm);Raman:分析富集点周围有机质的分子结构(如羧基峰≈1720 cm⁻¹,判断有机质官能团变化)。

四、生物医学领域
1. 肿瘤组织的微区诊断与分型
示例:肿瘤组织(如肺癌、乳腺癌)的微区(如癌细胞巢、间质)存在 “元素异常”(如 Cu、Zn 含量升高)和 “分子结构改变”(如蛋白质二级结构、脂质组成变化),可作为诊断标志物。 联用分析:LIBS:测定肿瘤微区的特征元素(如肺癌组织中 Cu 含量比正常组织高 2-3 倍);Raman:分析分子结构(如蛋白质 α- 螺旋峰≈1650 cm⁻¹ 减少,β- 折叠峰≈1670 cm⁻¹ 增加,指示蛋白质变性)。

2. 生物矿化物(骨骼、牙齿)的矿化机制研究
示例:骨骼、牙齿的矿化核心是 “羟基磷灰石(HA)晶体” 的形成,其 “Ca/P 元素比”(影响晶体稳定性)与 “HA 晶体结构”(影响力学性能)需同步分析。 联用分析:LIBS:测定微区 Ca/P 比(正常骨骼 Ca/P≈1.67,骨质疏松时 Ca/P 降低);Raman:表征 HA 晶体结构(HA 特征峰≈960 cm⁻¹,峰宽反映晶体尺寸,峰位偏移反映晶格畸变)。

3. 生物材料植入物的界面相容性评估
示例:人工骨(如 Ti 合金、HA 陶瓷)、心脏支架等植入物与人体组织的 “界面反应”(如元素扩散、蛋白质吸附)直接影响相容性,需微区表征。 联用分析:LIBS:测定界面处的元素扩散(如 Ti 合金植入后 Ti 向骨组织的扩散深度);Raman:分析界面处的分子反应(如胶原蛋白吸附峰≈1240 cm⁻¹、1660 cm⁻¹,判断组织整合程度)。

五、文物保护与考古领域
1. 彩绘文物的颜料成分与工艺解析
示例:古代壁画(如敦煌壁画)、彩绘陶器的颜料颗粒微小(1-20μm),需识别颜料成分(如朱砂、石青)并判断是否老化,避免保护时破坏文物。 联用分析:LIBS:测定颜料的元素组成(如朱砂含 Hg、S;石青含 Cu、C、O);Raman:确认颜料物相(如朱砂是 α-HgS,峰≈252 cm⁻¹;老化后可能生成 β-HgS,峰≈244 cm⁻¹)。

2. 金属文物的腐蚀机制分析
示例:青铜器、铁器的腐蚀产物(如铜绿、铁锈)常以微区形式存在,需明确腐蚀产物的 “元素组成”(如是否含 Cl⁻导致的 “青铜病”)与 “结构类型”,制定针对性保护方案。 联用分析:LIBS:测定腐蚀产物中的元素(如青铜器腐蚀区含 Cu、O、Cl,指示 “青铜病”);Raman:识别腐蚀产物结构(如碱式氯化铜(Cu₂(OH)₃Cl)峰≈146 cm⁻¹,氧化铜(CuO)峰≈298 cm⁻¹)。

3. 纺织品文物的纤维老化与媒染剂分析
示例:古代丝绸、棉麻纺织品的纤维(如丝素蛋白、纤维素)易老化,且染色工艺依赖金属媒染剂(如 Fe、Cu),需微区同步分析。 联用分析:Raman:分析纤维分子结构(如丝绸丝素蛋白的酰胺 Ⅰ 峰≈1650 cm⁻¹ 峰宽化,指示老化);LIBS:测定媒染剂元素(如唐代红色丝绸中的 Fe,证明使用 Fe 媒染剂固色)。



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