深紫外光电流系统应用第一辑 | 深紫外光电流系统介绍

2025-12-11

在之前的公众号文章里，我们陆续介绍了惟光在深紫外激发PL与光谱探测上的经验，以及我们在深紫外光电流领域的订单获取信息，在此一并感谢客户的大力支持。

那么从本期开始，我们把最近深紫外光电流系统的相关进展，陆续通过系统架构介绍，内部调试数据和案例的情况，一一分享给大家。

那么，今天我们开启我们的第一期：深紫外光电流系统介绍。

图1. 深紫外光电流系统示意图

本系统的主要特色有：

两种模式：瞬态光电流测试寿命和响应时间；稳态光电流模式测试器件暗电流和响应度

显微成像精确定位照射区域；Mapping测试器件响应不均匀性

定量光斑尺寸和激发功率密度控制

稳态激发波长覆盖193-1800nm

图2. 特色功能展示：显微成像与光斑对准图3. 特色功能展示：193nm脉冲激光光斑尺寸与功率密度控制

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