同一片15×15 mm样品在PL中表现出明显空间差异。Raman测试进一步提供了晶格振动、峰间距和局部层数变化线索，并帮助区分MoS₂信号与蓝宝石衬底信号。

典型Raman峰与衬底信号

典型光谱在约385.4cm⁻¹和403.2 cm⁻¹附近出现MoS₂的两个主要Raman峰，二者间距约17.8cm⁻¹。光谱中还出现约417.9 cm⁻¹、576.1 cm⁻¹和750.9 cm⁻¹等峰，其中部分可归属于蓝宝石衬底。

对超薄材料而言，衬底峰并不是“无用干扰”。一方面需要避免把衬底峰错误拟合为样品峰；另一方面，衬底信号的空间连续性也能帮助判断聚焦与扫描是否稳定。

图1 15×15mm样品典型Raman光谱及MoS₂/蓝宝石峰参考

数千条光谱中的一致与异常

本次Mapping获得约6400条光谱。大部分光谱的主要峰形保持一致，仅有一条曲线表现出明显离群特征，报告推测可能来自局部杂质。对于大规模Mapping，离群光谱的数量和位置本身就是重要结果：它可以帮助区分“整片工艺问题”和“单个污染点”。

汇总结果还显示，两个主要峰之间的距离并非处处相同。峰强较高区域与峰间距变化存在一定关系，但这种相关性不能直接解释为层数变化，还需要观察两峰的峰位如何分别移动。

图2  Raman汇总光谱及局部离群光谱

Mapping揭示中下部边界

峰强和峰位Mapping中，A₁g相关峰在样品中下部出现较明显的分界线，中心区域也存在强度起伏。更值得注意的是，两个MoS₂峰的峰位变化并不完全同向：当一个峰向低波数移动时，另一个峰可能向高波数移动。

这种相反变化会直接放大或缩小峰间距，因此可能影响层数判断。报告提出其可能与膜厚变化有关，但公众号表述应保持谨慎：（这句话放在公众号合适吗）层数只是候选解释之一，应变、载流子浓度和局部耦合同样可能改变两个模式的响应。

图3 Raman峰强与峰位Mapping

峰间距Mapping：大部分区域接近单层特征

将A₁g峰位减去E¹₂g峰位后，大部分位置集中在17—19 cm⁻¹范围，提示样品主体区域具有单层MoS₂的光谱特征。样品中心零星出现21—23

cm⁻¹点位，还有少量更高差值区域，可能对应双层、多层、重叠或局部异常。

这里需要强调，“可能对应”并不等于已经完成层数认证。更严谨的结论是：峰间距Mapping识别出少数值得进一步复核的位置，可优先选择这些位置开展AFM或更高分辨率测试。

图4 峰间距分区及层数参考

应变图适合看趋势，不适合孤立看绝对值

报告进一步依据公开文献中的Raman应变系数，对两个MoS₂峰进行了应变趋势换算。结果显示，大部分区域处于相近水平，变化较大的点与峰间距异常区存在一定重合。

应变换算高度依赖无应变参考峰位、层数、温度、掺杂和边界条件。因此，这类图更适合比较“哪里相对更高或更低”，不宜把单个绝对百分比直接作为精确应变值对外发布。

图5 基于两个MoS₂Raman模式得到的应变趋势图

下期预告｜下一篇将把扫描对象扩大到4英寸MoS₂晶圆，看看晶圆级PLMapping如何识别低信号区、缺口和局部异常。