各位朋友们大家好，本期与大家分享Raman光谱产品应用系列第五辑 SR900在碳纳米管上的应用。

在前面的四期中（请关注惟光探真公众号在3-4月份的发布内容），我们分别分享了SR900共聚焦大面积RamanMapping测试系统在SiC晶圆，硅基GaN MicroLED晶圆测试上的应力，分别对应于应力和载流子浓度的测量。

本期为第五期，我们拿出一小部分已知数据，分享SR900在CNT上的应用

我们知道，对于碳管的测试来说，主要是测试其中的G峰，D峰以及呼吸峰RBM，然后计算D峰与G峰的比值，评估其缺陷密度；同时利用呼吸峰来计算碳管的直径。

在测试之前，用户的2号样在较高激光功率(~30mW）已经出现烧蚀的痕迹，与激光扫描路径重合，所以后续所有实验控制在3mW激发功率，如图1所示。

图1. 出现烧蚀痕迹的样品

接下来，我们对1号样品进行测试。

实验条件为：

积分时间：10s

功率衰减：0.1

实际激发功率：3 mW

如图2所示，为1号样品的显微图像。

通过扫描，得到不同位置的G峰与D峰强度，如图3所示。

图2. 光学显微图像

图3. 1号样品的G峰与D峰

我们对图3的峰强进行计算，得到如图4所示的G 峰强/D峰强 Mapping。

图4. 1号样品G 峰强/D峰强 Mapping

最终我们得到此样品的Mapping统计结果为：G/D=8.5±1.7

同时，我们还测试得到了1号样品的呼吸峰图谱，如图5所示。

由此计算得到1号样品碳管的直径在1.17nm-1.7nm之间。

图5. 典型呼吸峰峰强及峰位（146-211cm-1）

然后，我们再对2号样品进行类似测试，测试条件与1号样品相同。

图6所示为2号样品的显微成像图。

图6. 2号光学显微镜图 100μm*80μm

图7为2号样品的G峰与D峰测试图。

图8为2号样品的G峰与D峰强度比Mapping图。

由此得到该样品的Mapping统计：G/D=15.4±9.1

图7. 2号样品的D峰与G峰

图8. 2号样品G峰强与D峰强的Mapping图

图9. 2号样品的呼吸峰图（150-215cm-1）

由此得到2号样品的碳管直径为1.15-1.65nm之间。

本次测试可以得到如下的结论：

可以从区域Mapping中获得G/D值，两个样品的平均值和散布都有明显不同，可以用于质量的监控。

可以由呼吸峰得到碳管的直径。

自动化Mapping采样中的实时对焦完全可行，如果需要还可以对碳管样品制样和对焦算法进一步优化，以更好的适配自动化检测需求。

数据处理算法根据样品不同，需要通过去除背景等方法获得更有重复性的数值。

以上就是本期分享的全部内容啦。

感谢您的观看。