助力客户 DUV 光刻系统关键元件 PD 探测器响应度测试与标定

图 1：叉车托着主机

近日，苏州惟光探真科技有限公司一台DUVOE900 深紫外光电流测试系统完成出厂前全部校验与测试，从公司所在地苏州・科教创新区发出，启程前往客户现场。该设备将服务于客户深紫外（DUV）光刻系统关键元件 —— 光电探测器（PD）的响应度测试与标定工作。

一、发货现场

上午的苏州秋阳正好，主机立柜在公司 A4 南入口完成最后一道缠绕膜封裹，连同配套的光学附件、标准探测器及电子学件，由合力叉车逐项转运至厢式货车。

图 2 打包完毕的主机立柜全貌

主机整体立式放置在木托盘上，外层缠绕膜全包，再以两根橙色绑带纵向二次加固，避免运输途中晃动。周边的附件箱按光学件、电学件、耗材分类装箱，箱外贴好对应的出货清单与易碎标识。

图 3 叉车将主机从楼内转出，现场工程师在旁指引

装车过程中，现场同事全程跟车确认叉车角度与进箱位置，主机平稳滑入车厢尾部后，再由人工补绑、塞紧缓冲物，确保整趟运输不位移、不倾翻。

图 4 主机被缓缓推入灰色厢式货车最终装车

完成的状态如下图：主机立柜位于车厢右侧，附件箱整齐码放在左侧空隙处，箱门关闭后即可发运。

图 5 装车完成后车厢内全景，主机立柜 + 附件箱

二、关于 DUVOE900

DUVOE900 深紫外光电流测试系统是惟光探真面向超宽禁带半导体光电探测器研发的一款高精度表征设备，专门针对由 AlN、AlGaN 等第四代半导体材料制作的 PD 器件，开展响应度、外量子效率、光谱范围、光 / 暗电流、光谱抑制比（SRR）等关键性能参数的测量。设备内置193 nm 脉冲激光器，也可根据客户需求选配连续光源，实现对器件的瞬态或稳态光电流测试；采用插槽式光路设计，后续可平滑升级为深紫外光致发光（PL）测试系统，一机多用。主要性能特点：

• 采用 200 nm 以下激光激发样品，其它激发波长可选；
• 显微成像与光电流两种模式自动切换；
• 内置标准探测器，用于对测试结果进行实时补偿；
• 具有自动对焦功能，保证实时聚焦；
• 可在聚焦和非聚焦两种状态下进行测量；
• 插槽式光路设计，可扩展升级深紫外 PL 测试。

这台 DUVOE900 从立项、装调、老化到今天发货，前后历经数月。感谢客户在选型阶段对我们产品方案的反复确认，也感谢公司研发、装配、质检同事这阵子的连轴转。设备抵达客户现场后，我们的应用工程师将第一时间上门，完成开箱验收、安装调试、光路校准与操作培训，确保客户能尽快把它用到 DUV 光刻 PD 探测器的研发与标定工作中去。后续装机与验收情况，我们会持续跟进分享。—— 苏州惟光探真科技有限公司