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LOE900光束诱导光电流扫描成像系统

惟光探真作为一家新兴的光学检测仪器设备供应商，在行业内首次提出多维度模块化插槽式光路设计理念，创新性的设计并生产出涵盖半导体、光伏、显示及生物医学领域等多个领域的高技术产品。LOE900光束诱导光电流成像系统光电流扫描成像和显微镜一体式设计，同时可用插槽式扩展增加其它波长的激光器，增加拉曼光谱与Mapping，荧光光谱成像系统等与功能，兼容性与扩充性极佳，广泛用于二维材料，结晶度分析，太阳能电池，储能材料，探测器光电性能检测，晶圆体分析，探测器检测等研究。

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LIBS-R900 科研版LIBS分析系统

LIBS-R900科研版显微LIBS元素分析仪是通过将高空间分辨率显微光学系统与激光诱导击穿光谱技术相结合，实现在微观尺度上对样品进行原位、快速、多元素的分析。它解决了传统LIBS空间分辨率低（毫米级）的缺陷，成为材料微结构分析、生物组织元素成像、地质微矿物鉴定等领域的关键技术。

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真空互联原位光谱测试工作站

半导体生长与测量过程是在真空中进行，因此对于半导体生长与测量也可称为真空互联生长与测量系统。真空互联生长与测量系统通常包括三大类子系统：1）生长系统：MBE，MOCVD，磁控溅射，ALD等，2）表面形貌与能谱检测：SPM，AFM，角分辨光电子能谱和俄歇扫描显微镜，3）光谱学检测：PL稳态与瞬态光谱，高低温系统，Raman光谱等。惟光探真研制的真空互联原位光谱测试工作站，主要用于半导体晶圆缺陷，应力

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InSitu900原位光谱测试探头与系统

InSitu900 光谱探头与系统具有其高共聚焦性和高灵敏度，透过防护玻璃或窗口等遮挡物对样品进行测量，从而可以研究反应室或其他封闭空间内的物质和化学反应过程，获得反应过程中的真实可靠数据、动态变化信息、非平衡或瞬态信息，同时还避免了非原位测试由于样品制备和转移等步骤所带来的污染、迟豫和不可逆性等问题，这将大大助力艺术、考古学、地质学或材料科学领域的化学结构探索。此外InSitu900不但可以对样品进行原位的PL光谱，Raman光谱进行测量，也可以升级到时间分辨Raman等功能，有效避开荧光干扰，还包括LIBS原子光谱。

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空间环境地面模拟与原位光谱测试工作站

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宽场荧光显微镜

惟光开发的宽场荧光显微镜是以自动化显微镜模组为基础，针对SiC等化合物半导体样品，分析样品中的晶圆位错、层错等晶格缺陷分布。宽场荧光显微镜可以进行非接触、无损、整晶圆检测，无须化学腐蚀、解理等样品前处理工艺，自主研制的激光辅助离焦量传感器，可在紫外激发光照射样品并采集荧光信号的同时工作，实现自动聚焦和表面跟踪，加上全自动化的软件操作，用户可以轻松快捷的完成测样。

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自动对焦显微镜

惟光探真开发出的自动对焦显微镜，可以满足半导体集成电路工艺线从表面缺陷检查到图形尺寸测量等各环节自动化视觉检测需求。我们的自动对焦显微镜具有自动聚焦功能，可在无图案晶圆上实现自动聚焦和表面跟踪，此外还可以通过软件控制，实现自动调焦、寻区、切换物镜等功能，加大的节省了用户操作时间，具有极佳的操作便利性。

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SpectraMapping智能化软件平台和模块化设计

惟光探真开发的SpectraMapping智能化软件具有统一的平台，模块化的设计方便用户灵活适配不同的应用场景。此外，可根据客户需求进行定制化的界面设计和定制化的RECIPE流程设计，实现复杂的采集和数据处理功能。

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VisualSpectra光谱图像数据处理软件

VisualSpectra光谱图像数据处理软件是一款多功能且兼容性很强的数据处理分析软件。就功能上来说，主要分为基础功能和高级功能，基础功能涵盖了3D Mapping显示、去本底、曲线平滑、去杂线、去除接谱台阶、光谱归一化、选区获取积分、谱峰拟合等数据处理过程所需的各种基本功能，满足用户的基本需求，高级功能主要是针对特殊应用场景，如应力拟合、载流子浓度拟合、晶化率拟合、荧光寿命拟合、主成分分析和聚

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