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应用领域
LIBSMapping应用案例第五辑
如何减小LIBSMapping测试结果中的RSD
2025-05-22

各位好,在第四辑中,我们展现了单点重复多次测量下如何减少RSD,那么在本期,小薇带您展示Mapping功能下如何减小RSD。

我们先分享如下图1-5中不同材料下的Mapping结果RSD。



图1. Zn合金测试结果RSD


图2. 钢渣测试结果RSD


图3. 铁矿石测试结果RSD


图4. 钢渣样品前10发平均全谱的RSD


图5. 铁矿石标样情况下前10发全谱平均值的RSD



由此可以看出,Mapping情况下的RSD远大于单点测试。

Zn合金的RSD一部分位于2.5%-20%,一部分位于20%-50%

铁矿石标样的RSD基本上位于4%-30%,分布特征明显

钢渣的RSD基本上位于15%-50%,这个主要是源于钢渣本身成分以及物理性质分布不均匀。


接下来,我们基于图6和7,对于铁矿石标样的RSD进行了比较详细的分析。



图6. Mapping过程中铁矿石标样相同位置之间的RSD热力图


图7. 样品表面位置从-1到1mm下光谱总强度变化图



原因分析如下:

测量过程中,同一个点位激发收集多次光谱,并计算相同位置之间的RSD,如下图所示。可以看到相同位置处铁矿石标样光谱总强度平均值的RSD<10%,由此推断在mapping过程中,采集光谱的不稳定性在于样品高度有变化,导致激光激发位置产生了变化。

改变样品表面位置,从-1到1mm,光谱总强度变化如右图所示,这种方式对样品表面位置非常敏感,而目前设备的自动对焦的精度在百微米量级,不足以抵消这种影响。推断是因为采用非同轴激发和收集方式导致的。

之后,我们采用同轴方式收集光谱,改变样品表面位置的测量结果如右图所示,其位置敏感性有很大改善,如图8所示。


图8. 同轴激发和收集下样品表面位置从-1到1mm下光谱总强度变化图



因此,接下来,我们对光路进行优化,看看RSD的情况,特别是大多数LIBS用户都很关心的200-300nm紫外波段。

使用Zn合金和铁矿石标样作为验证样品,样品倾斜放置,模拟表面不平的状况。

测试的LIBS光谱如图9和10所示。


图9. Zn合金光谱


图10. 铁矿石标样光谱



接下来,我们首先分析一下Zn合金Mapping下的RSD。

测试条件如下:

Zn合金mapping RSD—每个区域10X10个点位,点位间隔1mm,每个点位测量10次,得到图11到13的RSD数据分析。


图11. 区域1的RSD计算


图12. 区域2的RSD计算


图13. 区域3的RSD计算



结果显示Zn合金mapping RSD<8%,与单点测量的RSD接近。

我们继续做更详细的分析,如图14-16所示。


图14. 区域1


图15. 区域2


图16. 区域3



结论:单个点位采集的9幅光谱平均后,其RSD低于不平均的数据,使用光谱平均同样能够降低mapping数据的RSD

最后,我们再看一下铁矿石RSD的分析,测试条件与前面相同:Mapping RSD—每个区域10X10个点位,点位间隔1mm,每个点位测量10次,得到图17到19的RSD数据分析.


图17. 区域1


图18. 区域2


图19. 区域3



由此我们得到结论:

铁矿石标样mapping结果中,93%以上的谱线RSD<8%,与单点测量的RSD接近,设备带自动对焦的MAPPING功能测试效果良好,同样地,光谱平均能够降低mapping数据的RSD。

基本来看,如果希望减少RSD,则需要至少以下的这些工作:

同轴光路优化

数据分析

自动对焦

各位看官,您觉得上述的数据如何呢?欢迎留言和咨询哦。

后续再和您分享更多的内容哦。



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