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原位多模态光谱测试系列第一辑晶圆同位坐标系Raman/PL测试

2025-12-03

如大家所知道的，原位多模态光谱联用，是未来分析仪器的重大发展趋势之一。

例如，我们把Raman和PL联用，可以知道其中的化学键情况与跃迁状况。

我们还可以把LIBS与Raman联用，不但知道它是什么元素，还可以知道它是什么化学键。

我们更可以把LIBS，Raman，PL甚至于FTIR进行原位联用，从而给到用户更多的被测物信息。

因此，从本期开始，我们陆续分享苏州惟光探真在多模态联用上的相关案例。

本期为原位多模态光谱测试系列第一辑，我们首先分享针对于晶圆的同位坐标系Raman/PL测试，当然，用到其他的样品其实是类似的。

我们直接给出测试结果从图1到图4，为某些晶圆样品的Raman与PL原位Raman与PLMapping测试结果。

敬请大家批评指正。

图1. 某晶圆同位坐标系的532nm激发Raman与PLMapping测试

图2. 某晶圆同位坐标系的532nmRaman与375nmPLMapping测试

图3. 某晶圆同位坐标系的532nmRaman与375nmPLMapping测试

图4. 某晶圆同位坐标系的532nmRaman与375nmPLMapping测试