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苏州惟光探真科技有限公司
半导体材料与晶圆
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应用领域
深紫外光致发光系统应用系列第四辑
AlN带边峰单峰与缺陷峰的常温测试
2025-09-24

各位朋友们,大家好。

在之前三辑的分享中,大家看到了HPVE生长的AlN与室温下的AlN测试结果,所得到的带边峰基本都是双峰,本期我们分享另外一个比较有趣的结果,供大家赏析。


图1. AlN的全谱曲线


图2. 209.4nm的AlN单峰带边峰


在此基础上,我们再次针对于这个样品在324nm的缺陷峰寿命进行测试。


图3. 324nm的缺陷峰寿命原始数据


对图3的数据进行拟合,得到图4的结果。



图4. AlN的缺陷寿命 三个组分:117ns,6667ns和10830ns



以上,就是本期分享的结果了!

感谢大家。



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