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半导体材料与晶圆
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应用领域
深紫外光致发光系统应用系列第六辑
掺Si的AlN薄膜PL与TRPL测试
2025-09-24

各位朋友大家好。

本期是深紫外光致发光系统应用系列第六辑,在本期我们分享的是:掺Si的AlN薄膜PL与TRPL测试。

直接上数据。


图1. 掺Si的AlN测试谱线原始图


图2. 拟合分析得到的双峰:208.7nm和211.9nm


图3. 368nm缺陷峰寿命原始图



图4. 368nm的三个寿命组分:11.0ns,240ns,2796ns



以上就是全部的测试数据啦。

欢迎大家交流。



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