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微米级精准位移 | 半导体晶圆全域动态扫描成像
2026-06-16

实拍高精度闭环电动位移模组，设备载台与 532/785nm 双光源、采集软件实时同步联动，实现整片晶圆无盲区连续全域扫描。微米级定位精度保障 Mapping 成像稳定可靠，是高速飞拍极速采集的核心硬件基础。

设备广泛适配半导体晶圆、MicroLED 发光层全幅质检，同时满足低维材料、薄膜样品、Raman 应力分布的大面积光谱扫描表征需求。

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