2026.07.13
碳纳米管拉曼面扫描系列第五辑 | 全域缺陷可视化排查:精准定位晶圆病灶,优化工艺提升良率
引言上一期我们完成了两款晶圆碳纳米管类型的实测。这一期,继续往深处看:除了前面反复提到的微观缺陷筛查,我们还补充碳纳米管直径计算与手性判断,并用权威文献标准做参照。换句话说,这不是只看一张缺陷图就结束,而是把管径、手性、缺陷分布和工艺优化建议串起来,完成整套系列实测的最后一环。一、先看管径和手性:RBM峰给出第一组答案本次测试通过拉曼光谱中的径向呼吸模,也就是RBM峰,完成碳纳米管直径计算与手性判