各位好，小薇在本期给您带来LIBSMapping系统应用案例的第二辑，看看我们如何在不同的场景下对一些轻元素进行测试，这本身也是LIBS相对于XRF的优势之一。

案例：四氟化碳在SiO2的基片上刻蚀花纹，检测残留，从样品中检测到C（247.86nm）的谱线。

图1. 检测过的样品

图2. C（247.86nm）的谱线拟合

图3. Mapping图中C（247.86nm）的分布

由上述的三幅图可以看到：

采用自动对焦显微镜很好的得到了Mapping数据

采用我司的Visualspectra软件进行了较好的数据拟合

通过Visualspectra软件得到了C元素的Mapping数据图

当然啦，其实LIBS是个很通用的技术，但是如果希望做好做精，是一件不容易的事情，我们的设备也在根据用户的高要求不断地迭代和优化当中，请各位期待我们后续的结果吧！