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应用领域
LIBSMapping应用案例第四辑
如何减小Mapping结果中的RSD
2025-05-22

各位好,小薇在本期给您带来LIBSMapping系统应用案例的第四辑:如何减小Mapping结果中的RSD。

众所周知,理想状态下,Mapping测量的结果中,如果样品成分分布均匀,其他条件不变,不同位置测得的光谱图强度应当接近。

然而实际过程中,由于光路等各个因素的影响,相对于单点测量的RSD,区域 Mapping结果的RSD要大很多,这意味着其他参数在测量过程中并没有保持稳定。


如下图1所示,是比较典型的单点RSD与Mapping RSD情况。

铁矿石标样单点RSD:2%-10%

铁矿石标样mapping RSD:基本上5%-30%


图1. 铁矿石测试结果


我们用铁矿石标样作为样品进行Mapping测量。测量过程中,同一个点位激发收集多次光谱,并计算相同位置之间的RSD,如下图2和3所示:Mapping过程中,铁矿石标样相同位置之间的RSD热力图。

我们可以看到相同位置处铁矿石标样光谱总强度平均值的RSD<10%,由此推断在mapping过程中,采集光谱的不稳定性在于样品高度有变化,导致激光激发位置产生了变化。


图2. 铁矿石标样RSD热力图

图3. 铁矿石标样RSD热力图



因此,我们做了相关的优化:设备初步采用非同轴激发和收集方式采集光谱,样品表面位置从-1到1mm,光谱总强度变化如图4所示,这种方式对样品表面位置非常敏感,特别是在目前设备的自动对焦的精度在百微米量级的情况下。

进一步,改用同轴方式收集光谱,改变样品表面位置的测量结果如图5所示,其位置敏感性有很大改善。


图5. 立轴光路 样品表面位置从-1到1mm,光谱总强度变化图


图6. 同轴光路 样品表面位置从-1到1mm,光谱总强度变化图


在验证光路之后,我们采用不同的收集方式得到铁矿石标样Mapping RSD对比,如图7和图8所示,同轴激发和收集方式的RSD接近单点测量的RSD。


图7. 非同轴激发和收集 RSD在5-30%


图8. 同轴激发和收集 RSD维持在2-10%以内,接近单点测量的水平



结论:

同轴和非同轴的收集方式导致如此差异的主要区别在于:

其收光区域与激光激发轴向区域的重叠度,如果采用多个收集结构囊括激发轴向区域,应该可以改善非同轴的收集方式对于激发位置的敏感度,后续的验证结果我们会继续分享,敬请期待!






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