188-1177-1338
苏州惟光探真科技有限公司
MicroLED
application
应用领域
首页 > 应用领域 > MicroLED >
Raman光谱应用第十六辑 | Raman光谱在AlGaN中Al组分浓度测试上的应用
2026-03-16

各位朋友好，在之前的公众号文章中，和大家已经分享了Raman光谱在AlGaN中Al组分浓度测试上的应用，那么本期和大家分享Raman光谱应用实际案例第十六辑：

Raman光谱在AlGaN中Al组分浓度测试上的应用


当然，我们的系统采用插槽式并联光路设计，也可以采用213nm或者266nm不同波长下的紫外PL测试，进行浓度分析，与Raman进行互补。


实验设置如下：

扫描设置：

激光波长：532nm

积分时间：60s/层

扫描层数：35层

层间距：0.2μm/层

两个样品为表面以上3μm开始测试，一个样品为表面以上2μm开始测试


同步，我们也来看一下相关的文献支持，如图1所示。


图1. 文献支持分析


然后，我们来看一下图2到5的样品测试结果与分析。

图2. 典型的Raman光谱


图3. 样品测试结果

图4. 样品测试结果

图5. 样品测试结果与分析


本期分享的内容到底结束，欢迎大家一起讨论。



上一篇：无
返回列表
下一篇：Raman光谱应用第十五辑 | Raman光谱在SiC晶圆纵向深度下的应力测试
版权所有 Copyright © 苏州惟光探真科技有限公司 版权所有 网站建设 备案号：苏ICP备2025157184号-1
法律声明 / 隐私政策 /