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喜报:半导体晶圆载流子浓度、应力与缺陷测量系统成功中标国内某头部企业!
2025-05-08

各位好,近日,苏州惟光探真SR900半导体晶圆级应力与载流子浓度测试系统与SF900半导体晶圆级缺陷与少子寿命测试系统中标某国内头部MicroLED研发与制造企业!


本套综合性测量系统,从2024年6月份开始测样,历经十余次的测试、对结果反复沟通,对技术不断优化和对软硬件不断迭代,终于获得了用户的最终认可,非常不容易。


本次的竞争中,来自于日本,韩国与德国等主流的PL与Raman企业都参与其中,但是并不能得到完全让用户满意的结果,我司凭借着技术优势,在与进口品牌价格差异很小的情况下成功中标,得到了客户的最终认可与垂青,成功实现了完全凭借技术优势下的国产替代!


本系统,依然采用惟光探真所独有的并联式插槽光路设计,把用户所需要的功能

大面积扫描的自动对焦显微镜

375nm激发下的PL光谱Mapping

532nm激发下的Raman光谱2D与3DMapping

一次性集成到一起。


当然本套系统,还可以升级到FLIM也就是大面积荧光寿命Mapping,进行例如少子寿命测量,以及其他波长的PLMapping与RamanMappping。


同时,本套系统所要求的高稳定性RamanMapping与PLMapping技术,还可以很成功的应用于诸如生物Raman,药物Raman,新材料Raman与PL和荧光寿命测量等诸多领域。


本套系统,按照本司的企业文化,在6-7月份给用户交付的时候,给到的是我司最新迭代的自动对焦显微镜,最新设计的更高稳定性的光路系统,远超当时投标时候的指标。


同时,我司也会在苏州本地留下一台同版本样机,继续迭代优化,不断把优化好的细节与技术给用户免费升级使用。



图1. 插槽式并联光路

(从左到右依次是:自动对焦显微镜/PL/Raman,向右侧可依次进行扩展)



图2. 我司应用工程师邓工测样中


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