近日，我司通过我们的战略合作伙伴与代理商北京卓立汉光分析仪器有限公司，成功中标西湖大学光电研究院荧光光谱测量系统。

      本系统，主要用于InP与GaAs等二代半导体晶圆测试。

      我司的PL与Raman系统主要有如下特色功能，赢得了客户的青睐：

• 多模态测试功能：采用我司的插槽式并联光路，在一套系统中同时实现Raman与PL功能，实现对于应力和缺陷等相关功能的测试
• 自动对焦功能：内置我司的标准自动对焦模功能，实时跟踪激光焦点，对于可能有翘曲与应力的晶圆，实现测量的精确性，且可以实现翘曲度的测量
• 高分辨显微光谱功能：搭配高倍物镜，实现最小1μm的光斑，结合上述提到的自动对焦，有效避免因为大光斑引起的可能的干涉现象
• 特色的采集与分析软件：采用我司的SpectraMapping软件，对于大面积晶圆实现多点与多线路下的稳定扫描成像，并且采用特色的Visualspectra软件进行离线数据分析。

     欢迎各位垂询我司的相关系统！

     感谢西湖大学与合作伙伴的大力支持与认可！

      在我司的公众号上，从本周三开始也会陆续发布GaAs与InP光谱测试系列专题文章，共计五期，欢迎大家关注。

图1. 中标信息