在用户的大力支持下,惟光探真再获得深紫外光电流订单!
此订单,采用全国产激光等离子体光源,搭配单色仪与滤光片,可以实现从193nm到1800nm的全谱段光电流Mapping功能,为中国相关的半导体事业再次尽绵薄之力。
此系统,也可以在后续升级到193nm或者其他激光波长的瞬态光电流测试。